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該項目由工業(yè)和信息化部產(chǎn)業(yè)發(fā)展促進中心在鄭州組織召開了綜合績效評價會。評審專家組由來自東南大學、中國科學院蘇州生物醫(yī)學工程技術(shù)研究所、重慶大學、智恒(廈門)微電子有限公司、合肥工業(yè)大學、中北大學、中國人民解放軍國防科技大學、中國地質(zhì)大學(北京)、中國醫(yī)學科學院藥物研究所、河南農(nóng)業(yè)大學的10位專家組成。工業(yè)和信息化部產(chǎn)業(yè)發(fā)展促進中心項目專員孫太任、河南省科技廳副廳長劉英鋒，項目責任專家中國科學院微電子研究所焦斌斌研究員，項目咨詢專家中科院電工研究所韓立研究員，日立信股份董事長汪獻忠，項目負責人復旦大學鄧勇輝、日立信股份技術(shù)研究院院長赫樹開、課題負責人上海大學徐甲強、中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所許鵬程、南方科技大學汪飛及項目骨干代表盧紅亮、鄭利兵等50余人參與此次會議。

工信部產(chǎn)促中心孫太任專員介紹了參會專家領導及項目綜合績效評價要求，河南省科技廳副廳長劉英鋒及日立信股份董事長汪獻忠分別代表項目主管部門及牽頭單位致歡迎辭，對評審專家及項目參與人員表示歡迎和感謝。

該項目2021年3月啟動以來，河南省日立信股份有限公司、復旦大學、上海大學、中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所、南方科技大學、中科院電工研究所等6家國內(nèi)領先的MEMS傳感器研發(fā)團隊，產(chǎn)學研用聯(lián)合攻關。針對工業(yè)傳感器面臨的一致性、選擇性及穩(wěn)定性難題，構(gòu)建了基于介孔結(jié)構(gòu)孔道努森擴散-表面吸附催化的傳感模型，突破了高性能氣敏薄膜可控制備難題；研制出150 mm晶圓級MEMS低功耗微熱板芯片并實現(xiàn)了傳感器晶圓的批量快速測試；開發(fā)了硫化氫、甲醛、氫氣傳感器模組及關聯(lián)儀表和檢測裝置，滿足核電、特高壓、氫能源及智能家居等特定領域的應用需求，以傳感器技術(shù)促進新能源、物聯(lián)網(wǎng)和大健康等新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展，形成國產(chǎn)化升級替代新技術(shù)。

日立信股份感謝評審專家對項目成績的肯定與認可，感謝項目組及各位指導專家的辛勤付出。日立信股份將繼續(xù)加強科研團隊建設，加大感知技術(shù)研發(fā)投入力度，聚焦市場前沿技術(shù)研究和產(chǎn)業(yè)帶動，不斷提高傳感器產(chǎn)業(yè)的經(jīng)濟效益和社會效益，為進一步提升我國高性能傳感器的核心競爭力做出更大的貢獻。