產(chǎn)品用途|MCU智能控制 ? 高純氣體超微流量控制
產(chǎn)品型號RA101型
產(chǎn)品名稱六氟化硫氣體泄漏標(biāo)準(zhǔn)發(fā)生裝置
量程A(0.02~2)mL/min SF?
量程B(0.2~20)mL/min SF?
響應(yīng)時(shí)間≤1s
預(yù)熱時(shí)間≤2min
產(chǎn)品參數(shù)及尺寸
參數(shù)名稱
參數(shù)值
量 程 A
(0.02~2)mL/min SF?
量 程 B
(0.2~20)mL/min SF?
量程A準(zhǔn)確度
±0.01mL/min(<0.7mL/min SF?)
±0.02mL/min(≥0.7mL/min SF?)
量程B準(zhǔn)確度
±0.1mL/min(<7mL/min SF?)
±0.2mL/min(≥7mL/min SF?)
響應(yīng)時(shí)間
≤1s
預(yù)熱時(shí)間
≤2min
穩(wěn) 定 性
零點(diǎn)漂移(儀器零點(diǎn)漂移在一年內(nèi)應(yīng)不超過±0.6%F.S)
擴(kuò) 展 性
可根據(jù)用戶需求實(shí)現(xiàn)甲烷、二氧化碳、一氧化碳等其他氣體準(zhǔn)泄漏源
顯 示
5.6英寸液晶顯示屏
電 源
220V AC、50Hz
功能特點(diǎn)
MCU智能控制,自動(dòng)控制,精度高,線性佳;
裝置的管路內(nèi)表面均具有抗腐蝕、低吸附特性,對酸性氣體及有毒有害氣體均可進(jìn)行配制;
可實(shí)現(xiàn)多種高純氣體超微流量控制;