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參數(shù)名稱

參數(shù)值

無(wú)油水冷壓縮機(jī)

30 m3/h

輸出終壓

50 bar

無(wú)油增壓機(jī)

5 m3/h@液態(tài)SF?

過(guò)  濾  器

過(guò)濾水分、分解產(chǎn)物及固體顆粒

過(guò)濾粒徑

≤1 μm

調(diào)壓輸出

(1~10) bar

汽  化  器

1.5 kW

回  收  管

DN19*10 m，一端DN20自封閉接頭，

另一端球閥及氣瓶接頭

回  充  管

DN13*3 m，一端DN20自封閉接頭，

另一端球閥及氣瓶接頭

輔助回收冷卻型式

水冷

結(jié)構(gòu)型式

半封閉

電       源

三相五線制，AC380 V，50 Hz

尺       寸

2850 mm * 1500 mm * 1760 mm

(L * W * H)

部件名稱

參數(shù)值

真空壓縮機(jī)

最大抽氣速率15.5 m3/h，

回收終壓≤1 mbar

最大抽氣速率31.3 m3/h，

回收終壓≤1 mbar

真空泵/真空泵組

抽速64 m3/h，

極限真空度≤0.1 mbar

抽速100 m3/h，

極限真空度≤0.1 mbar

抽速252 m3/h，前級(jí)泵抽速64 m3/h，

極限真空度≤0.08 mbar

抽速505 m3/h，前級(jí)泵抽速64 m3/h，

極限真空度≤0.08 mbar

儲(chǔ)罐

220 L、設(shè)計(jì)壓力50 bar、碳鋼材質(zhì)

300 L、設(shè)計(jì)壓力50 bar、碳鋼材質(zhì)

400 L、設(shè)計(jì)壓力50 bar、碳鋼材質(zhì)

500 L、設(shè)計(jì)壓力50 bar、碳鋼材質(zhì)

控制方式

一鍵式控制

15英寸觸摸屏控制

計(jì)量方式

稱重/加熱

液位計(jì)量/加熱